SE50A_ECO 200SMIF

SE50A-ECO 系列是專為半導體製程與材料測試開發的光譜分析儀，具備高精度，能精準測量多種薄膜與化學濃度。設備可實現 ppm 級碳氧濃度檢測、奈米級薄膜厚度測試，以及 BPSG 薄膜中磷硼含量的穩定測量。除此之外，該系列支持矽氧化膜中氟濃度檢測與氮化矽薄膜中氫濃度測試，涵蓋了半導體製程中常見的關鍵測量需求。此設備採用直覺化的操作介面與穩定的自動化設計。SE50A-ECO 支援多種晶圓尺寸（2-12 英吋），可依據不同生產需求靈活配置，並提供多種選配模組，如 FOUP 系統、光學 FFU 及標籤讀取模組等，進一步提升產線適應性與測試效率。該設備整合 Thermo Fisher 的先進光譜技術與 JEL 的自動化晶圓處理系統，保證數據的可靠性與重複性，為半導體材料檢測帶來全新標準。SE50A-ECO 系列能協助半導體產業提升製程良率，優化生產效率，是高效測試與精準分析的理想選擇。