SE50S-ECO-系列 半導體紅外光譜儀 (FT-IR)

• FT-IR儀器：Thermo Fisher Scientific Nicolet iG50


• 晶圓光學系統：提供精確的晶圓測量


• 單晶圓Mapping系統：支援晶圓尺寸150mm、200mm、300mm


• PC：HP EliteDesk系列（Core i7，32GB RAM，SSD RAID1）


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• 干涉儀：Michelson型，具對準與動態校準功能


• 紅外光源：Polaris IR光源，最大分辨率0.5 cm⁻¹


• 光束分光器：Ge on KBr，測量範圍7800 ~ 350 cm⁻¹


• 偵測器：DLaTGS/KBr，範圍12500 ~ 350 cm⁻¹


• 測量模式：透射和反射模式

數據存儲

• 測量數據以CSV格式存儲，並按晶圓時間順序排列。

樣品分析

• 最多分析點：500點


• 位置準確性：±0.1mm


• 可測量範圍：光束邊緣距晶圓邊緣最多1mm

設備尺寸與廠務需求

• 尺寸：1000mm（寬）× 1165mm（深）× 1625mm（高）


• 重量：250kg


• 電力需求：100-120V或200-230V（50/60Hz）


• 氮氣需求：0.1-0.2MPa，30L/min

•Epitaxial Thickness Software (Option: SiC measurement)

•Carbon & Oxygen in Silicon Software

•Boron & Phosphorus in BPSG or PSG Films Software

•Hydrogen in Silicon Nitride Software

•Fluorine in SiO2Films Software

•SiO2 Films Analysis by TQ Analysis Software